Abgelagerte Metalle

PVD, gesputterte & verdampfte Metalle

SVM verfügt über 30 Jahre Erfahrung in der Herstellung von PVD, gesputterten und verdampften Metallen. Neben der Bearbeitung von Silizium-Wafern bieten wir die Bearbeitung einer Vielzahl von Substraten an, darunter Aluminiumoxid, Quarzglas, Aluminiumnitrid, Siliziumkarbid und andere Materialien. Wir bieten eine breite Palette von Schichtdicken mit branchenführender Gleichmäßigkeit und Widerstandsgleichmäßigkeit. Nachstehend finden Sie eine Liste der gängigen Schichten, die wir anbieten. Bitte kontaktieren Sie uns mit Ihrer spezifischen Anfrage.

SVM Sputtered/Evaporated Metals:

• Aluminium (Al)
• Aluminium/Kupfer (AlCu) - .5%, 1%, 4%
• Aluminium/Silizium (AlSi) - .1%, 1%, 2%
• Aluminiumnitrid (reaktiv)
• Aluminiumoxid (Al2O3)
• Kohlenstoff (C)
• Chrom (Cr)
• Chromoxid (Cr2O3) - Nicht reaktiv
• Chromsilizium (CrSi)
• Kobalt (Co)
• Kupfer (Cu)
• Kupfer-Nickel (CuNi) - 60/40
• Germanium (Ge)
• Gold (Au)
• Halbnium (Hf)
• Indium-Zinn-Oxid (ITO)
• Eisen (Fe)
• Molybdän (Mo)
• Nickel (Ni)
• Niobium (Nb)
• Palladium (Pd)
• Platin (Pt)
• Ruthenium (Ru)
• Silizium - dotiert & undotiert
• Siliziumkarbid (SiC)
• Silber (Ag)
• Tantal (Ta)
• Tantal-Nitrid (TaN)
• Zinn (Sn)
• Titan (Ti)
• Titan-Oxid (TiO2)
• Titannitrid (TiN)
• Titan Tungster (TiW)
• Wolfram (W)
• Wolframnitrid (WN)
• Wolfram-Silizium (WSI)
• Zirkonium (Zr)
• Zirkonium-Oxid (ZrO2)

SVM Chemical Vapor Deposition Schichten, die mit dem PECVD oder LPCVD Verfahren abgeschieden wurden:

CVD-Metalle:

• Kobalt (Co)
• Kobaltnitrid (CoN)
• Titan (Ti)
• Titannitrid (TiN)
• Wolfram (W)
• Wolframnitrid (WN)
• Siliziumkarbid (SiC)
• Siliziumkarbidnitrid (SiCN). SiCO)
• Siliziumnitrid (SiN)
• Silizium-Oxy-Nitrid (SiON)

SVM Atomic Layer Deposition (ALD) Metalle:

• Aluminiumoxid (Al2O3)
• Nickel-Oxid (NiO)
• Niobiumnitrid (NbN)
• Niobium-Oxid (NiO2)
• Niob-Sauerstoff (Nb2O5)
• Siliziumkarbid (SiC)
• Siliziumkarbid-Nitrid (SiCN)
• Siliziumkarbid-Sauerstoff (SICO)
• Siliziumnitrid (SiN)
• Silizium-Oxy-Nitrid (SiON)
• Wolfram (W)
• Titannitrid (TiN)
• Nickelnitrid (NiN)

Galvanisierte Metalle:

• Zinn (Sn) oder Zinn-Legierungen
• Kupfer (Cu)
• Nickel (Ni)
• Silber (Ag)
• Gold (Au)
• Palladium (Pd)
• Platin (Pt)