PVD, 스퍼터&증발된 금속

SVM은 30년간 PVD, 스퍼터&증발된(evaporated) 금속을 제공해왔습니다. 실리콘 웨이퍼 가공 외에도 알루미나, 퓨즈 실리카, 알루미늄 니트라이드, 실리콘 카바이드 등 다양한 기판에 대한 가공을 제공합니다. 업계 최고의 균일성과 저항 균일성으로 다양한 필름 두께를 제공합니다. 아래는 저희가 제공하는 일반적인 필름 목록입니다. 만약 구체적인 요청 사항이 있으시면 연락해주십시오.

SVM 스퍼터/증발된 금속:

  • Aluminum (Al)
  • Aluminum/Copper (AlCu) – .5%, 1%, 4%
  • Aluminum/Silicon (AlSi) – .1%, 1%, 2%
  • Aluminum Nitride (reactive)
  • Aluminum Oxide (Al2O3)
  • Carbon (C)
  • Chromium (Cr)
  • Chromium Oxide (Cr2O3) – Non-Reactive
  • Chromium Silicon (CrSi)
  • Cobalt (Co)
  • Copper (Cu)
  • Copper Nickel (CuNi) – 60/40
  • Germanium (Ge)
  • Gold (Au)
  • Halfnium (Hf)
  • Indium Tin Oxide (ITO)
  • Iron (Fe)
  • Molybdenum (Mo)
  • Nickel (Ni)
  • Niobium (Nb)
  • Palladium (Pd)
  • Platinum (Pt)
  • Ruthenium (Ru)
  • Silicon – doped & undoped
  • Silicon Carbide (SiC)
  • Silver (Ag)
  • Tantalum (Ta)
  • Tantalum Nitride (TaN)
  • Tin (Sn)
  • Titanium (Ti)
  • Titanium Oxide (TiO2)
  • Titanium Nitride (TiN)
  • Titanium Tungster (TiW)
  • Tungsten (W)
  • Tungsten Nitride (WN)
  • Tungsten Silicon (WSI)
  • Zirconium (Zr)
  • Zirconium Oxide (ZrO2)

SVM 화학 기상 증착 필름(PECVD/LPCVD 증착):

CVD 금속:

  • Cobalt (Co)
  • Cobalt Nitride (CoN)
  • Titanium (Ti)
  • Titanium Nitride (TiN)
  • Tungsten (W)
  • Tungsten Nitride (WN)
  • Silicon Carbide (SiC)
  • Silicon Carbide Nitride (SiCN). SiCO)
  • Silicon Nitride (SiN)
  • Silicon Oxy-Nitride (SiON)

SVM 원자층 증착(ALD) 금속:

  • Aluminum Oxide (Al2O3)
  • Nickel Oxide (NiO)
  • Niobium Nitride (NbN)
  • Niobium Oxide (NiO2)
  • Niobium Oxygen (Nb2O5)
  • Silicon Carbide (SiC)
  • Silicon Carbide Nitride (SiCN)
  • Silicon Carbide-Oxygen (SICO)
  • Silicon Nitride (SiN)
  • Silicon Oxy-Nitride (SiON)
  • Tungsten (W)
  • Titanium Nitride (TiN)
  • Nickle Nitride (NiN)

전기도금 금속:

  • Tin (Sn) or Tin alloys
  • Copper (Cu)
  • Nickel (Ni)
  • Silver (Ag)
  • Gold (Au)
  • Palladium (Pd)
  • Platinum (Pt)

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