200mm Nachfrage steigt

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SemiEngineering

17. Dezember 2020

Ein sprunghafter Anstieg der Nachfrage nach verschiedenen Chips führt zu Engpässen bei ausgewählten 200-mm-Foundrykapazitäten und 200-mm-Fertigungsanlagen, und es gibt keine Anzeichen dafür, dass dies im Jahr 2021 nachlässt.

Foundry-Kunden werden zumindest in der ersten Hälfte des Jahres 2021 und vielleicht auch darüber hinaus mit einem Mangel an 200mm-Kapazitäten bei ausgewählten Foundries konfrontiert sein. Diese Kunden müssen vorausschauend planen, um sicherzustellen, dass sie im Jahr 2021 genügend 200-mm-Kapazität erhalten. Andernfalls könnten sie ganz vom Markt ausgeschlossen werden oder müssen möglicherweise einen Aufpreis für diese Kapazität zahlen.

Der 200-mm-Markt ist sowohl für Geräte- als auch für Anlagenhersteller ein beachtliches Geschäft. Mehr als 200 Fabriken auf der ganzen Welt produzieren heute Chips auf Wafern mit einem Durchmesser von 200 mm (8 Zoll). Die Chiphersteller nutzen diese 200mm-Fabriken zur Herstellung von Chips, die auf ausgereiften Prozessen basieren, die von 350nm bis zu 90nm-Knoten reichen. Zu den Chips, die in 200mm-Fabriken hergestellt werden, gehören analoge Chips, Displaytreiber, Power Management ICs (PMICs) und RF-Bauteile.

Viele dieser Geräte werden nicht in den heutigen hochmodernen 300mm-Fabriken hergestellt. In den 300-mm-Fabriken werden die fortschrittlichsten Chips verarbeitet, obwohl sie auch Geräte mit ausgereiften Nodes von 65 nm bis 28 nm herstellen.

Von dort aus werden die Märkte für 200mm- und 300mm-Fabriken in zwei Kategorien unterteilt - Hersteller von integrierten Bauelementen (IDMs) und Foundries. IDMs entwickeln ihre eigenen Markenchips und stellen sie in ihren eigenen Fabriken her. Foundries stellen Chips für andere Unternehmen in ihren eigenen Fabriken zu wettbewerbsfähigen Preisen her. Die meisten Foundries haben sowohl 200mm- als auch 300mm-Fabriken.

Dies ist kein neues Problem. Von 2015 bis 2019 waren 200-mm-Fertigungskapazitäten in der gesamten Branche knapp, einfach weil die Nachfrage größer war als das Angebot. Die Gerätehersteller wollten ihre 200-mm-Fertigungskapazitäten ausbauen, aber es waren nicht genügend 200-mm-Anlagen verfügbar. Dann, Anfang 2020, trat die Covid-19-Pandemie auf und führte zu einer Verlangsamung in der gesamten Halbleiterindustrie, einschließlich des 200mm-Marktes. Mitte 2020 erholte sich der Markt jedoch wieder, da die Nachfrage nach Computern, Tablets, Fernsehern und anderen Produkten stark anstieg.

Auch der 200mm-Markt hat sich 2020 wieder erholt, auch wenn nicht alle gleichermaßen davon profitiert haben. Bei einigen Foundries sind sowohl die 200mm- als auch die 300mm-Kapazitäten ausverkauft, bei anderen Anbietern hingegen nicht. Viele IDMs haben auch überschüssige 200mm-Kapazitäten. Die Kapazitätssituation hängt vom Produktmix ab.

"Es ist eine interessante Situation in diesem Jahr. Es sind nicht nur 200 mm gefragt, sondern auch allgemein die Nachfrage nach Spitzen- und Spezialprodukten. Es geht um Energie, CMOS-Bildsensoren, RF und diese Art von Produkten", sagte Risto Puhakka, Präsident von VLSI Research. "Es gibt auch eine Spaltung des Marktes. Wenn Sie IDMs wie TI, NXP oder die Standard-Analoghersteller sind, war 2020 ein schwieriges Jahr. Der Industrie-, Automobil- und Stromversorgungsmarkt hat sich in einer schwierigen Lage befunden, die durch das Coronavirus beeinträchtigt worden ist. Aber gleichzeitig boomen die Foundries. Die Foundries befassen sich mit dem, was ich die Verbrauchermärkte nennen würde."

Während bei den IDMs gerade eine Erholung einsetzt, werden die meisten Foundries auch im Jahr 2021 eine starke Nachfrage nach 200mm-Kapazitäten verzeichnen. "Die Trailing-Edge-Knoten sind bei den Foundries sehr aktiv", sagte Puhakka. "Zumindest beschleunigt sich das Ganze.

Und nach wie vor möchten die Foundryen ihre Kapazitäten ausbauen, sehen sich aber jetzt und in absehbarer Zukunft mit einem Mangel an 200mm-Anlagen konfrontiert.

In der Halbleiterproduktion entwickelt ein Hersteller von Silizium-Wafern einen unbearbeiteten oder rohen Wafer mit verschiedenen Durchmessern. Die Wafer werden an Chiphersteller verkauft, die sie in einer Produktionsstätte zu Chips verarbeiten.

In den Anfängen der Halbleiterindustrie Mitte der 1960er Jahre fertigten die Chiphersteller die fortschrittlichsten Chips auf 1,25-Zoll-Wafern (30 mm) in einer Produktionsstätte. 30 mm bezeichnet den Durchmesser der Wafergröße.

Im Laufe der Jahre sind die Chiphersteller auf größere Wafergrößen umgestiegen. Durch die Umstellung auf größere Wafergrößen konnten die Hersteller die 2,2-fache Anzahl von Chips pro Wafer produzieren und so ihre Herstellungskosten senken.

In den 1990er Jahren wechselten die führenden Chiphersteller von 150-mm- zu 200-mm-Fabriken. Damals beliefen sich die Kosten für den Bau einer 200-mm-Fabrik auf etwa 700 Millionen bis 1,3 Milliarden Dollar. Ein großer Prozentsatz der Kosten für eine Fabrik entfällt auf die Ausrüstung, die für die Herstellung von Chips verwendet wird. Ätz-, Abscheidungs- und Lithografiesysteme sind die gängigsten Ausrüstungen in Fabriken.

200mm-Fabriken wurden über Jahre hinweg zum führenden Standard. Laut Christian Dieseldorff, einem Analysten von SEMI, waren 2002 weltweit insgesamt 186 200mm-Fabriken in Betrieb, gegenüber 65 im Jahr 1995.

Seit den 2000er Jahren sind viele Chiphersteller von 200mm- auf 300mm-Fabriken (12-Zoll-Wafer) umgestiegen. Anfänglich beliefen sich die Kosten für den Bau einer 300mm-Fabrik auf 2 bis 3 Milliarden Dollar.

Trotz der Umstellung auf 300mm-Fabriken sind die 200mm-Fabriken nicht verschwunden. Im Gegenteil, eine große Anzahl von Chipherstellern produzierte weiterhin Chips in älteren 200mm-Fabriken. Heute stellen viele Anbieter auch Chips in älteren 150mm- und 100mm-Fabriken her.

Dennoch war 200mm bis 2015 ein vergessener Markt. Zu dieser Zeit stieg die Nachfrage nach analogen, HF-, MEMS- und anderen Gerätetypen sprunghaft an, was zu Engpässen bei den 200mm-Fertigungskapazitäten führte.

Von 2015 bis 2019 waren die Kapazitäten der 200mm-Fabriken knapp. Im Jahr 2020 sind die Foundry-Kapazitäten mit Ausnahme einer Flaute Anfang dieses Jahres bei vielen Anbietern knapp. Die 200-mm-Kapazitäten der IDMs sind gemischt.

"Die Nachfrage nach 200mm-Kapazitäten war früher zyklisch, aber in den letzten Jahren hat sich diese Dynamik geändert", sagte Walter Ng, Vice President of Business Development bei UMC. "Wir haben gesehen, dass die Nachfrage nach 200mm das Angebot in der gesamten Branche weiterhin übersteigt. Bei vielen Geräten handelt es sich um langlebige Produkte, die noch einige Zeit auf den bestehenden Technologien bleiben werden. Es kommen aber auch neue Anwendungen auf den Markt, die von den Technologie-/Kostenvorteilen der 200mm-Technologieknoten profitieren wollen. Dies schafft die neue Norm für 200mm, wobei die Nachfrage in der Industrie das Angebot in absehbarer Zukunft kontinuierlich übersteigen wird."

Die Anbieter von Anlagen sehen ähnliche Trends. "Die Aussichten für die 200mm-Wafer-Verarbeitungsanlagen von SPTS sind sehr gut, wie schon in den letzten 5 Jahren", sagte David Butler, Executive Vice President und General Manager von SPTS Technologies, einem KLA Unternehmen. "Der Aufschwung des Marktes für kleinere Wafer ist in unseren eigenen Statistiken deutlich sichtbar. Der prozentuale Anteil der Umsätze mit 200 mm oder kleineren Wafern an unserem Gesamtgeschäft ging von 2010 bis 2015 zurück, als er sich einem Verhältnis von etwa 50:50 mit 300 mm näherte. Dann kehrte sich der Trend um und der Prozentsatz der 200mm oder kleineren Wafer ist wieder auf dem Niveau von 2010."

200mm Kapazitätstrends
Es gibt mehrere Möglichkeiten, den 200mm-Markt zu betrachten. Eine davon ist, den Markt in drei Teile aufzuteilen - die Basis der Foundry-Anbieter, die Fab-Kapazität und die Ausrüstung.

Mehrere Foundry-Anbieter stellen in 200mm-Fabriken Chips für andere her, und jedes Unternehmen unterscheidet sich mit verschiedenen Prozessangeboten. GlobalFoundries, Hua Hong, Samsung, SkyWater, SMIC, Tower, TSMC, UMC, Vanguard und X-Fab gehören zu den Foundry-Anbietern mit 200mm-Fabriken.

Mit Key Foundry ist im September ein neuer Anbieter von 200-mm-Foundries auf den Markt gekommen, nachdem er das Foundry-Geschäft von MagnaChip übernommen hatte.

Was die Kapazitäten betrifft, so bauen IDMs und Foundries weiterhin neue 200mm-Fabriken. "Im Jahr 2019 haben wir fünf neue 200mm-Fabriken gezählt", sagte Dieseldorff von SEMI. "Sieben 200mm-Fabriken haben 2020 mit dem Bau begonnen. Eine weitere, oder möglicherweise zwei, werden 2021 mit dem Bau beginnen."

Auf regionaler Ebene sind in China drei neue 200mm-Fabriken für 2020 in Planung, während in Nord- und Südamerika, Japan, Südostasien und Taiwan jeweils eine Anlage geplant ist, so SEMI. Die für 2021 geplanten Fabriken befinden sich in den USA.

Eine andere Möglichkeit, die Kapazität zu betrachten, ist die Produktion in der Fabrik, die in Wafern pro Monat (wpm) gemessen wird. "In Bezug auf die wpm sehen wir ein stetiges Wachstum von etwa 3 bis 4 % pro Jahr von 2019 bis 2021", sagte Dieseldorff.

Es wird erwartet, dass die Industrie im Jahr 2021 neue 200mm-Kapazitäten in Höhe von mehr als 220.000 wpm aufbauen wird. Insgesamt wird die 200mm-Fertigungskapazität laut SEMI voraussichtlich 6,4 Millionen wpm erreichen. Die 200mm-Fertigungskapazitäten umfassen diskrete, epische, LEDs, MEMS und Halbleiter.

Die 200mm-Kapazität wird auf andere Weise gemessen. Zum Beispiel hat jeder Prozessknoten in einer 200mm-Fabrik seine eigene Angebots-/Nachfrage-Gleichung. Zum Beispiel sind PMICs und Displaytreiber-ICs am 180nm-Knoten in 200mm-Fabriken gefragt.

Hinzu kommt noch der Migrationsfaktor. Einige Chiptypen werden noch lange Zeit in 200-mm-Fabriken hergestellt werden. Andere Chips wandern von 200-mm- auf 300-mm-Fabriken ab.

"Man kann mit Sicherheit sagen, dass die Foundry-Kapazitäten in der gesamten Branche sowohl bei 200 mm als auch bei 300 mm sehr knapp sind", sagte Ng von UMC. "Da die 200-mm-Kapazitäten in den letzten Jahren immer voller wurden, mussten viele Anwendungen auf die 300-mm-Technologieknoten migriert werden. So haben wir PMICs, Display-Treiber-ICs und RF-SOI-Designs auf 80nm/90nm sowie auf 65nm/55nm gesehen. Das, was wir als 300mm-Legacy bezeichnen, wird bis zu einem gewissen Grad von denselben hochvolumigen Endanwendungen auf den fortschrittlicheren 200mm-Prozessen angetrieben."

Dann sind bei vielen Foundries auch die relativ ausgereiften 40nm und 28nm Prozesse in 300mm-Fabriken gefragt. "Diese Knotenpunkte werden von Verbraucher- und Kommunikationsanwendungen angetrieben. Anwendungen wie Spiele, drahtlose Kommunikation und LED-Treiber sind nur einige der wichtigsten Anwendungen. Darüber hinaus wachsen 5G- und mmWave-bezogene Geräte schnell", sagte Ng.

Im Jahr 2021 wird die Nachfrage nach 200mm-Foundry-Kapazitäten bei vielen Anbietern robust bleiben. "Alle taiwanesischen Foundries gehen davon aus, dass das knappe 200mm-Angebot mindestens bis zum Ende des 2. Quartals 2021 anhalten wird", sagte Samuel Wang, Analyst bei Gartner. "Einer der Hauptgründe für den Anstieg der Nachfrage nach 200mm-Wafern ist die kontinuierlich steigende Produktion von 5G-Smartphones und Basisstationen. Dies dürfte dafür sorgen, dass die 200mm-Wafer in den taiwanesischen Foundries bis 2021 stark ausgelastet sind. Einige nicht-taiwanesische Foundries, die Automobil- und Industrieanwendungen bedienen, sehen keinen solchen Nachfrageschub bei 200mm-Wafern."

Im Jahr 2020 haben einige Foundryen ihre 200mm-Preise für Kunden erhöht. "Es gibt selektive Preiserhöhungen bei den Foundries, aber das ist nicht flächendeckend", sagte Wang. "TSMC hat offen erklärt, dass es keine 200mm-Preiserhöhungen geben wird und hat 200mm-Kunden ermutigt, auf 300mm-Fabriken umzusteigen, um ihre langfristigen Beziehungen zu pflegen. Andere taiwanesische Foundries haben einige begrenzte Preiserhöhungen vorgenommen. Sie haben vertragliche Vereinbarungen mit vielen Kunden, die die Preise stabil halten. Aber ausgewählte Kunden mit mittleren und kleinen Stückzahlen haben mehr Preiserhöhungen erfahren."

Trends bei 200mm-Anlagen
Irgendwann müssen IDMs und Foundries ihre 200mm-Kapazitäten erweitern, indem sie neue Fabriken bauen oder ihre bestehenden Anlagen ausbauen. In beiden Fällen müssen die Gerätehersteller 200mm-Anlagen kaufen.

Es gibt verschiedene Möglichkeiten, 200mm-Geräte zu beschaffen. Zum Beispiel bauen viele Ausrüstungshersteller, auch OEMs genannt, neue 200mm-Geräte von Grund auf neu. OEMs nehmen auch gebrauchte Geräte, sogenannte "Cores", und bereiten sie zu brauchbaren Systemen auf.

Eine weitere Quelle sind Unternehmen, die gebrauchte Geräte anbieten. Diese Unternehmen beschaffen Kerne und bereiten sie auf. Einige bauen sogar ihre eigenen Markengeräte.

Auch Makler und Online-Seiten wie eBay verkaufen gebrauchte Geräte. Einige Chip-Hersteller verkaufen auch gebrauchte Geräte auf dem freien Markt.

Es gibt mehrere Möglichkeiten, 200-mm-Ausrüstung zu kaufen, aber so einfach ist das nicht. Zum einen gibt es auf dem Markt einen Mangel an brauchbaren überholten 200-mm-Geräten. Anfang dieses Jahres benötigte die Branche mehr als 2.000 bis 3.000 neue oder generalüberholte 200-mm-Werkzeuge oder "Kerne", um die Nachfrage nach 200-mm-Fabriken zu befriedigen. Laut SurplusGlobal, einem Anbieter von Sekundäranlagen, waren jedoch weniger als 500 Kerne verfügbar.

Heute, inmitten der boomenden Nachfrage nach 200mm-Fertigungskapazitäten, sind weniger Kerne verfügbar als früher. "Die Lage ist ernster", sagte Bruce Kim, Geschäftsführer von SurplusGlobal. "Jede 200mm-Foundry ist ausgelastet und mindestens bis Ende nächsten Jahres voll einsatzfähig."

Aufgrund des Mangels an gebrauchten Werkzeugen muss ein Gerätehersteller in vielen Fällen direkt zu einem Gerätehersteller gehen, um neue 200mm-Werkzeuge zu kaufen, die relativ teuer sind. "Viele Jahre lang konnten die Hersteller von 200-mm-Geräten gebrauchte Geräte billig erwerben. Jetzt gibt es dieses Angebot nicht mehr. Selbst wenn die Leute ungenutzte Werkzeuge haben, verkaufen sie sie nicht, weil sie damit noch Geld verdienen können", sagte Puhakka von VLSI Research. "Jetzt müssen Sie zu den OEMs gehen. Sie müssen sich an Applied, Lam, TEL, Kokusai, ASMI und ASML wenden. Diese Werkzeuge sind nicht gerade erschwinglich. Die Hürde, die Investition zu tätigen, ist viel höher."

Dennoch sind 200-mm-Werkzeuge von den OEMs gefragt. "Es gibt sicherlich einen Mangel an gebrauchten 200mm-Werkzeugkernen für die Aufarbeitung", sagte David Haynes, Geschäftsführer für strategisches Marketing bei Lam Research. "Aber es besteht weiterhin eine starke Nachfrage nach 200mm-Geräten für viele etablierte Anwendungen in den Bereichen Sensorik, Energie und RF. Die Nachfrage nach analoger IC-Kapazität für Power Management und spezialisierte CMOS-Bildsensoranwendungen ist besonders stark und treibt die Kundennachfrage an. In ähnlicher Weise haben wir eine steigende Nachfrage nach Lösungen für die Herstellung von diskreten Leistungsbauelementen festgestellt, obwohl diese Technologien mit steigender Nachfrage weiter auf 300 mm migrieren."

Nach einer leichten Flaute im Jahr 2019 nimmt der Markt für 200mm-Anlagen jedoch wieder Fahrt auf. Insgesamt lag der Umsatz mit 200mm-Wafer-Fab-Equipment (WFE) im Jahr 2019 bei 3,6 Milliarden Dollar, was einem Rückgang von 5 % gegenüber 2018 entspricht, so VLSI Research. Im Jahr 2020 wird sich der Markt für 200-mm-WFE voraussichtlich wieder erholen und um 6 bis 7 % wachsen, so VLSI Research. Für 2021 wird ein ähnliches Wachstum erwartet, so das Unternehmen.

Wo Sie Werkzeuge kaufen können
Inzwischen gibt es mehrere Anbieter, die neue und/oder gebrauchte 200mm-Ausrüstung verkaufen. Es ist schwierig, alle Unternehmen und ihre Angebote aufzulisten. Eine Möglichkeit, den Markt zu betrachten, besteht darin, ein paar Unternehmen hervorzuheben und sich mit den jeweiligen Themen zu beschäftigen.

Lithografiewerkzeuge, die für die Strukturierung von Merkmalen auf Wafern verwendet werden, sind oft die am schwierigsten zu beschaffenden 200-mm-Systeme auf dem Markt. Ein Anbieter, Canon, entwickelt weiterhin neue i-line und 248nm Lithografiesysteme für 200mm Wafergrößen und kleiner.

"Die Nachfrage nach neuen und gebrauchten 200-mm-Anlagen ist groß, aber Canon verfügt über einen flexiblen Zeitplan für den Bau neuer Anlagen, der es uns ermöglicht, bestimmte Stückzahlen zu erhöhen, um die Marktnachfrage zu befriedigen und gleichzeitig akzeptable Vorlaufzeiten einzuhalten", sagte Doug Shelton, Marketing Manager bei Canon. "Neue Geräte sind für Unternehmen mit genau definierten Budgets und Anforderungen an die Leistung, Produktivität, Funktionalität oder Lebensdauer von Lithosystemen attraktiv. Günstigere Gebrauchtgeräte sind für Kunden attraktiv, die die Kosten für 200-mm-Fertigungsanlagen minimieren wollen, bei denen Lithografie-Leistung und -Ausstoß nicht die Hauptprioritäten sind. Die Risiken, die mit der Beschaffung, Überholung, Installation und Unterstützung von gebrauchten Lithografieanlagen verbunden sind, können durch eine Strategie für neue Anlagen minimiert werden."

Inzwischen gibt es mehrere Unternehmen, die 200-mm-Beschichtungs- und Ätzgeräte herstellen und verkaufen. Bei der Abscheidung werden dünne Schichten auf Oberflächen aufgebracht. Ätzwerkzeuge entfernen Materialien.

"Lam hat immer wieder neue 200-mm-Beschichtungs-, Ätz- und EinzelWafer-Reinigungsanlagen entwickelt", sagte Haynes von Lam. "Wir haben ein proaktives Kernbeschaffungsprogramm. Sollten wir jedoch nicht in der Lage sein, ein überholtes Gerät zu liefern, ist unser Team in der Lage, ein neues Produkt als Alternative anzubieten."

Auch die Nachfrage nach überholten 300-mm-Systemen zieht an. "In diesem Segment sehen wir eine große Nachfrage nach überholten 300-mm-Anlagen, die fortschrittliche Prozessanforderungen erfüllen und gleichzeitig die Investitionsziele unserer Kunden in diesen Märkten erfüllen", sagte Haynes.

Andere Anbieter von Depositions- und Ätzsystemen sehen ähnliche Trends, aber auch einige Herausforderungen. "Im Großen und Ganzen gibt es keine besonderen Herausforderungen bei der Lieferung von 200mm oder kleineren Anlagen", sagte Butler von SPTS. "Die Lieferketten sind ausgereift und stabil. Metrologiesysteme sind leicht verfügbar. Die Herausforderungen bei 200 mm und kleineren Wafern liegen in der großen Vielfalt der Märkte, die sie bedienen und die jeweils sehr unterschiedliche technische Anforderungen haben. So sind z.B. gleichmäßige Dicken- und Spannungskontrolle bei piezoelektrischen Schichten für die HF-Filterung, die Entfernung vonGaN-Schichten im Nanometerbereich (Galliumnitrid) für die Energieversorgung und die Abscheidung von Dielektrika mit hohem Durchbruch bei weniger als 200°C für MEMS unterschiedlich."

In der Tat besteht der Eindruck, dass die Anforderungen für Chips in 200-mm-Fabriken einfach sind. Im Gegenteil, die Anforderungen sind manchmal komplex und die Gerätehersteller wünschen sich Werkzeuge mit präziseren Prozessen und schnellerem Durchsatz.

"Wir liefern viele 200-mm-Ganzflächeninspektionssysteme für Foundryen. Einige unserer Kunden kaufen unsere neuen Inspektionssysteme, um bestehende Inspektionssysteme zu ersetzen, weil das neue Gerät eine bessere Defektsensitivität bietet", sagt Damon Tsai, Director of Inspection Product Management beiOnto Innovation. "In Zukunft werden wir den Durchsatz für die Vorder-, Rück- und Kanteninspektion verbessern müssen, da die erforderlichen Stichproben immer höher werden. Die Rückseiteninspektion wird für die Kontrolle der Erträge bei speziellen Halbleiteranwendungen immer wichtiger, daher ist die Verbesserung der Rückseitenempfindlichkeit ebenfalls ein Schlüssel."

KLA, Onto und andere verkaufen Inspektions- und Messgeräte, die in 200mm-Fabriken ebenfalls von entscheidender Bedeutung sind. Inspektionsgeräte finden Defekte in Chips, während Messgeräte zur Messung von Strukturen verwendet werden.

"Im Jahr 2020 haben wir eine Auslastung der 200-mm-Fabriken gesehen und wir rechnen mit einem weiteren Wachstum im Jahr 2021", sagte Wilbert Odisho, Vizepräsident und General Manager bei KLA. "Es gibt eine robuste Nachfrage, die von 5G, Automotive, Display-Panels und AR/VR angetrieben wird. Das größte regionale Wachstum kommt aus China, wo wir erwarten, dass in den nächsten zwei Jahren mehr als zehn neue Fabriken und Erweiterungen in Betrieb gehen werden. SiC (Siliziumkarbid) und GaN treiben ebenfalls die Nachfrage nach 200mm-Kapazitäten an."

KLA verfügt über ein breites Portfolio an 200-mm-Inspektions- und Messwerkzeugen. "Wir bedienen den Markt mit generalüberholten 200-mm-KLA-Werkzeugen und stellen andere ausgereifte Produktlinien wieder her. Außerdem haben wir mehrere aktuelle Werkzeugmodelle um 200-mm-Fähigkeiten erweitert", sagte Odisho. "In einigen Fällen haben wir die Herstellung spezieller 200-mm-Produkte wieder aufgenommen, um die große, wachsende Nachfrage des reifen Marktes zu befriedigen. Wir verzeichnen weiterhin ein starkes Wachstum im Bereich 200mm, sowohl für zusätzliche Systeme als auch für Leistungs- und Durchsatzverbesserungen. Wir stellen uns auch der Herausforderung der Wartungsfreundlichkeit unserer Produkte, indem wir unseren technischen Support verdoppeln, um die Kontinuität der Lieferung durch Abmilderung von Veralterung zu gewährleisten."

Fazit
Sicherlich sind 200-mm-Fabriken älter und verfügen über ausgereifte Technologien, aber sie sind auf dem Vormarsch.

Für Foundries und Ausrüstungshersteller besteht die Herausforderung darin, die Nachfrage nach 200mm-Kapazitäten zu befriedigen. Aber das ist leichter gesagt als getan.