N型晶圆

纯硅不导电,因此很少用作半导体。为了使纯硅成为实际可用的半导体,必须添加一定量的杂质。添加杂质可以改变导电性,使硅成为半导体。向本征型材料或天然材料中添加杂质的过程称为掺杂,而杂质则称为掺杂剂。掺杂后,本征型材料变成了非本征型材料。实际上,只有在进行掺杂之后,这些材料才会变得可用。

当杂质原子被添加到硅中而不改变其晶体结构时,就会产生一种N型材料。在某些原子中,其价带中含有五个电子,如磷(P)、砷(As)和锑(Sb)。在硅中掺杂任何杂质都必须不能改变其晶体结构或键合过程。杂质原子的额外电子不参与形成共价键,所以它可以自由移动。只需要极少量的杂质就能产生足够的自由电子,从而使电流在硅中自由流通。N型硅是一种良好的导体。电子带负电荷,因此被称为N型。下图显示了添加杂质原子后硅晶体的变化。

由于N型硅的优越导电性能,它被广泛用于许多应用领域中,如功率器件、二极管和晶体管等。

直径: 76mm/100mm/125mm

直径:200mm

直径:300mm

晶圆晶圆晶圆
类型/掺杂剂:N - 磷/锑/砷类型/掺杂剂:N - 磷/锑/砷类型/掺杂剂:N - 磷/锑/砷
晶向:<100>晶向:<100>晶向:<100>
电阻率:0-100 ohm-cm电阻率: 0-100 ohm-cm电阻率: 0-100 ohm-cm
厚度: 381μm/525μm/625μm +/- 20μm厚度:725μm +/- 20μm厚度:775μm +/- 20μm
TTV: < 10μmTTV: < 5μmTTV: < 5μm
切面标准:1 or 2/ SEMI standard切口标准:SEMI standard切口标准: SEMI standard
单面抛光单面抛光双面抛光
颗粒直径 (LPD): <[email protected]>=0.3um颗粒直径 (LPD): <[email protected]>=0.2um颗粒直径(LPD): <[email protected]>=0.2um

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