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100mmN/Phos525 +/-25{100}10 ~ 30<=52 플랫에칭<=30@>=0.3SV003표준
100mmP/붕소525 +/-25{100}10~20<=52 플랫연마<=20@>=0.3SV004표준
100mmP/붕소525 +/-25{100}1 ~ 5<=52 플랫에칭<=20@>=0.3SV005표준
100mmP/붕소525 +/-25{100}5 ~ 10<=52 플랫에칭<=20@>=0.3SV006표준
100mmP/붕소525 +/-25{100}0.01-0.02<=72 플랫에칭<=10@>=0.3SV007표준
100mmP/붕소525 +/-25{100}0.001-0.002<=82 플랫에칭<=20@>=0.3SV009표준
100mmP/붕소525 +/-25{100}10~20<=52 플랫에칭<=20@>=0.3SV010표준

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