사양

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50.8mmP/붕소280 +/-25{100}1 ~ 50<=101 플랫에칭<=20@>=0.3SV001표준
76mmP/붕소381 +/-25{100}10~20<=102 플랫에칭<=30@>=0.3SV002표준
100mmN/Phos525 +/-25{100}10 ~ 30<=52 플랫에칭<=30@>=0.3SV003표준
100mmP/붕소525 +/-25{100}10~20<=52 플랫연마<=20@>=0.3SV004표준
100mmP/붕소525 +/-25{100}1 ~ 5<=52 플랫에칭<=20@>=0.3SV005표준
100mmP/붕소525 +/-25{100}5 ~ 10<=52 플랫에칭<=20@>=0.3SV006표준
100mmP/붕소525 +/-25{100}0.01 ~ 0.02<=72 플랫에칭<=10@>=0.3SV007표준
100mmP/붕소525 +/-25{100}0.001 - 0.002<=82 플랫에칭<=20@>=0.3SV009표준
150mmP/붕소625 +/-25{100}1 ~ 50<=51 제이다에칭<=20@>=0.2SV016표준
200mmP/붕소725 +/-20{100}1 ~ 50<=5노치에칭<=50@>=0.12SV018표준
200mmP/붕소725 +/-25{100}5 ~ 30<=4노치에칭<=50@>=0.16SV019표준
200mmP/붕소725 +/-20{100}1 ~ 100<=7노치에칭<=50@>=0.08SV022표준
300mmP/붕소775 +/-10{100}6~12<=0.9노치연마<=50@>=0.045SV026표준
200mmP/붕소725 +/-25{100}1 ~ 100<=10노치에칭<=20@>=0.2SV024표준
300mmP/붕소775 +/-25{100}1 ~ 100<=10노치연마<=100@>=0.2SV028표준
300mmP/붕소775 +/-25{100}0.01-0.02<=5노치연마<=50@>=0.12SV029표준
150mmP/붕소675 +/-25{100}0.01 ~ 0.02<=51 플랫에칭<=20@>=0.2SV013표준
150mmN/Phos675 +/-25{100}10~20<=101 플랫에칭<=10@>=0.2SV012표준
125mmP/붕소625 +/-25{100}1 ~ 100<=51 플랫에칭<=20@>=0.2SV011표준
100mmP/붕소525 +/-25{100}10~20<=52 플랫에칭<=20@>=0.3SV010표준
150mmP/붕소675 +/-25{100}10~20<=5노치에칭<=20@>=0.2SV014표준
150mmP/붕소675 +/-25{100}10~20<=81 플랫에칭<=20@>=0.2SV015표준
200mmP/붕소725 +/-25{100}1 ~ 100<=5노치연마<=30@>=0.2SV017표준
200mmN/Phos725 +/-20{100}6 ~ 24<=3노치에칭<=200@>=0.16SV020표준
200mmP/붕소725 +/-25{100}0.005-0.02<=10노치에칭<=20@>=0.2SV021표준
300mmP/붕소775 +/-25{100}20~40<=0.9노치연마<=15@>=0.09SV025표준
300mmP/붕소775 +/-25{100}1 ~ 30<=3노치연마<=50@>=0.065SV027표준

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