Polissage et remise en état

Polissage et remise en état

Une fois qu'une plaquette de silicium a été utilisée par une usine de semi-conducteurs, elle peut être repolie/récupérée et réutilisée par l'usine comme plaquette de test à un coût considérablement inférieur à celui de l'utilisation d'une nouvelle plaquette de test. Les plaquettes de silicium peuvent être repolies/récupérées jusqu'à cinq fois, en fonction du taux d'élimination du silicium. Il est recommandé aux techniciens de l'usine de manipuler et d'emballer les plaquettes avec précaution s'ils prévoient de les récupérer, afin d'éviter de rayer ou de contaminer inutilement la surface de la plaquette. SVM est en mesure de polir/récupérer des plaquettes de 50 à 300 mm de diamètre, en polissage simple (SSP) ou double (DSP). Nous utilisons un certain nombre de procédés différents pour la récupération des plaquettes, allant d'un simple processus de "décapage et nettoyage" à un polissage "kiss" minimal, en passant par un repolissage/récupération complet de la plaquette.

Le processus de récupération des plaquettes de SVM commence par une inspection des plaquettes, au cours de laquelle les plaquettes sont triées en fonction de leur épaisseur, de leur type et de leur résistivité. Les plaquettes passent ensuite au rodage ou à la gravure, en fonction du type de film ou de motif sur la plaquette et de l'état général de la plaquette lors de l'inspection initiale. Après la gravure ou le rodage, les plaquettes sont généralement exemptes de défauts de surface et sont prêtes pour le repolissage. Le polissage peut être effectué sur une seule face (SSP) ou sur deux faces (DSP) en fonction du diamètre et des spécifications de la plaquette. Après le polissage, les plaquettes passent par le processus de nettoyage, puis par un processus d'inspection finale, y compris l'inspection des particules (propreté de la surface). Les plaquettes sont ensuite conditionnées dans une cassette propre, doublement emballées, étiquetées et mises en boîte pour l'expédition.

L'un de nos services les plus appréciés consiste à réceptionner des plaquettes de silicium recouvertes de films, à procéder à un simple décapage et nettoyage de la plaquette, puis à réappliquer un nouveau film pour le client. C'est ce que nous appelons un processus de "décapage et de repousse".