Récupération du carbure de silicium

Récupération du SiC

Les plaquettes en carbure de silicium (SiC) comptent parmi les types de plaquettes les plus coûteux utilisés aujourd'hui dans l'industrie des semi-conducteurs. Cela est principalement dû à la difficulté de les fabriquer selon les spécifications strictes requises pour la fabrication des semi-conducteurs, ainsi qu'aux propriétés matérielles du carbure de silicium lui-même.

La récupération des plaquettes de carbure de silicium permet de réutiliser les plaquettes de SiC et donc de réaliser des économies pour les clients qui, sinon, devraient acheter de nouveaux substrats de SiC.

Le processus de régénération du SiC est similaire au processus de régénération d'autres types de substrats semi-conducteurs tels que le silicium. Toutes les couches superficielles qui ont été précédemment appliquées ou déposées sur les plaquettes sont enlevées par une série d'étapes comprenant le meulage, le polissage, la planarisation chimico-mécanique (CMP) et le nettoyage. L'objectif de ce processus est d'éliminer toutes les couches superficielles apparaissant sur les plaquettes et de les rendre utilisables.

SVM récupère les plaquettes de SiC et leur redonne une finition polie de haute qualité qui leur permet d'être réutilisées.