저저항 웨이퍼

저저항(고도로 도핑된) 웨이퍼

저저항 웨이퍼는 도핑이 많이 된 웨이퍼입니다. 전류의 흐름에 대한 저항이 낮고 전도성이 높기 때문에 사용됩니다. 이러한 웨이퍼는 양전하(P형) 또는 음전하(N형)로 충전될 수 있습니다. P형 웨이퍼는 붕소로 도핑되어 있으며 웨이퍼를 통해 전류를 전달하는 양전하 원자를 갖고 있습니다. N형 웨이퍼는 음전하를 띠며 전자를 사용하여 웨이퍼를 통해 전기를 전달합니다. 이러한 웨이퍼는 인, 비소 또는 안티몬으로 도핑하여 음전하를 얻을 수 있습니다.

대부분의 웨이퍼는 제조 공정 중에 도핑됩니다. 진성(intrinsic) 웨이퍼와 같은 다른 웨이퍼는 제조 후 도펀트를 도입합니다. 제조 후 웨이퍼에 도펀트를 추가하는 데 사용되는 몇 가지 기술에는: 빈 공간 확산, 내부 격자 확산, 위치 변경이 있습니다. 이 세 가지 방법 모두 타겟 분자가 웨이퍼로 확산되는 것을 포함합니다. 웨이퍼에 도펀트를 도입하는 세 가지 일반적인 방법에는: 빈 공간 확산, 내부 격자 확산, 위치 변경이 있습니다.