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낮은 저항(강한 도핑) 웨이퍼
낮은 저항 웨이퍼는 강하게 도핑 된 웨이퍼입니다. 전류 흐름에 대한 저항이 낮으며 전도성이 매우 높습니다. 이러한 웨이퍼는 양(P타입) 또는 음(N타입)으로 충전할 수 있습니다. P타입 웨이퍼는 붕소로 도핑되어 있으며, 그 안에 양전하를 띤 원자가 있어 웨이퍼를 통해 전류를 전달합니다. N타입 웨이퍼는 음전하를 띠고 전자를 사용하여 웨이퍼를 통해 전기를 전달합니다. 이 웨이퍼들은 음전하를 얻기 위해 인, 비소 또는 안티몬으로 도핑될 수 있습니다.
대부분의 웨이퍼는 제작 과정에서 도핑됩니다. 그외 내인성 웨이퍼와 같은 웨이퍼들은 제조 후에 도팬트가 도입됩니다. 웨이퍼 제작 후 도팬트를 첨가할 때 사용하는 기술 다음과 같습니다: 빈 공간 확산, 내부 격자 확산, 장소 변경. 이 세 가지 방법은 모두 표적 분자를 웨이퍼에 확산시킵니다. 도팬트를 웨이퍼에 도입하는 빈 공간 확산, 내부 격자 확산, 장소 변경 이 세 가지가 흔한 방법입니다.
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