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200mmP/붕소725 +/-25{100}1 ~ 100<=5노치연마<=30@>=0.2SV017표준
200mmP/붕소725 +/-20{100}1 ~ 50<=5노치에칭<=50@>=0.12SV018표준
200mmP/붕소725 +/-25{100}5 ~ 30<=4노치에칭<=50@>=0.16SV019표준
200mmN/Phos725 +/-20{100}6 ~ 24<=3노치에칭<=200@>=0.16SV020표준
200mmP/붕소725 +/-25{100}0.005-0.02<=10노치에칭<=20@>=0.2SV021표준
200mmP/붕소725 +/-20{100}1 ~ 100<=7노치에칭<=50@>=0.08SV022표준
200mmP/붕소725 +/-25{100}1 ~ 100<=10노치에칭<=20@>=0.2SV024표준

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