低电阻率(重掺杂)晶圆

低电阻率晶圆是重掺杂类型晶圆。它们对电流的流动表现出低阻抗特性,并且由于其高导电性能而被广泛使用。这些晶圆存在两种带电类型:正电(P型)或负电(N型)。P型晶圆中掺杂有硼,其内部含有带正电的原子,从而使晶圆可以传输电流。N型晶圆带负电,利用电子在晶圆中的移动传输电流。这些晶圆可以掺杂磷、砷或锑以获得其负电荷。

大多数晶圆是在制造过程中被添加掺杂剂的。其他的如本征型晶圆,是在制造后引入掺杂剂的。目前有几种技术可用于在制造后向晶圆添加掺杂剂:空位扩散、内晶格扩散和改变位置。这三种方法都涉及到将目标分子扩散到晶圆中。 将掺杂剂引入晶圆有三种常见的方法:空位扩散、内晶格扩散和改变位置。

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