超平晶圆

SVM可以供应各种高质量的超平晶圆,以满足每个客户对晶圆表面平整度的精确控制要求。

可供应晶圆的直径范围: 50mm-300mm
平整度测量标准: SFPD,SFQR,STIR, TTV,TIR, GTIR 等

SVM超平晶圆样品规格:

  • 直径: 300mm
  • 表面平整度标准: SFQR
  • 表面平整度规格: < 0.05μm, < 0.11μm, < 0.13μm, < 0.25μm
  • 百分可用区域: 100%
  • 表面尺寸: 26 x 8 mm

SVM拥有足够的超平晶圆库存产品。

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