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Dopant

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(Ohm-cm)

TTV (um)  

Encoche/
Plats

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150 mmN/Phos675 +/-25{100}10 à 20<=101 platGravé<=10@>=0.2SV012Standard
150 mmP/Boron675 +/-25{100}0.01-0.02<=51 platGravé<=20@>=0.2SV013Standard
150 mmP/Boron675 +/-25{100}10 à 20<=5EncocheGravé<=20@>=0.2SV014Standard
150 mmP/Boron675 +/-25{100}10 à 20<=81 platGravé<=20@>=0.2SV015Standard
150 mmP/Boron625 +/-25{100}1 à 50<=51 JeidaGravé<=20@>=0.2SV016Standard

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