TEOS

PE TEOS - Orthosilicate de tétraéthyle amélioré par plasma - Si(C2H5O)4

L'orthosilicate de tétraéthyle amélioré par plasma, plus communément appelé PE TEOS, est un film liquide à température ambiante qui produit des couches de dioxyde de silicium pour diverses applications. Ce film possède d'excellentes propriétés isolantes et un large éventail d'utilisations. Le TEOS amélioré par plasma diffère des autres films de dioxyde de silicium parce qu'il nécessite de l'ozone (O3) pendant la réaction, ce qui abaisse la température de dépôt. Il crée également une couche d'oxyde de très haute conformité.

Selon l'application, certains préfèrent cette méthode à d'autres techniques de dépôt de films SiOx parce qu'elle ne nécessite pas l'utilisation de silane ou de dichlorsilane. L'élimination de ces gaz améliore la couverture des étapes du film obtenu. Elle permet également un contrôle précis de la tension du film, ce qui n'est pas possible avec les autres méthodes de dépôt de dioxyde de silicium.

Le PE TEOS est déposé dans un système CVD où les plaquettes sont d'abord chauffées à une température inférieure à celle des films diélectriques (entre 200°C et 500°C). Une fois que le four a atteint la température appropriée, un mélange gazeux de TEOS est distribué uniformément dans le système, parallèlement aux plaquettes. Une fois le gaz distribué uniformément, l'énergie radisurréquence entre le gaz et la surface des plaquettes entame le processus de dépôt.

TEOS à faible teneur en particules

L'orthosilicate de tétraéthyle à faible teneur en particules subit le même processus de dépôt que le PE TEOS. Afin de maintenir une pureté élevée, les plaquettes sont maintenues sous vide pour éviter les particules indésirables pendant le processus de croissance. Ce processus nécessite une chambre de dépôt plus chaude que le PE TEOS car l'orthosilicate de tétraéthyle ne commence pas à se décomposer avant 700°C sans l'aide de l'ozone.

Pour minimiser la contamination par les particules, SVM utilise des plaquettes strictement vierges, scellées en usine, pour les TEOS à faible teneur en particules.

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