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50.8mmP/Boron280 +/-25{100}1 至 50<=101 平槽蚀刻<=20@>=0.3SV001标准
76mmP/Boron381 +/-25{100}10 至 20<=102 平槽蚀刻<=30@>=0.3SV002标准
100mmN/Phos525 +/-25{100}10 至 30<=52 平槽蚀刻<=30@>=0.3SV003标准
100mmP/Boron525 +/-25{100}10 至 20<=52 平槽抛光<=20@>=0.3SV004标准
100mmP/Boron525 +/-25{100}1 至 5<=52 平槽蚀刻<=20@>=0.3SV005标准
100mmP/Boron525 +/-25{100}5 至 10<=52 平槽蚀刻<=20@>=0.3SV006标准
100mmP/Boron525 +/-25{100}0.01 至 0.02<=72 平槽蚀刻<=10@>=0.3SV007标准
100mmP/Boron525 +/-25{100}0.001 - 0.002<=82 平槽蚀刻<=20@>=0.3SV009标准
150mmP/Boron625 +/-25{100}1 至 50<=51 Jeida蚀刻<=20@>=0.2SV016标准
200mmP/Boron725 +/-20{100}1 至 50<=5凹槽蚀刻<=50@>=0.12SV018标准
200mmP/Boron725 +/-25{100}5 至 30<=4凹槽蚀刻<=50@>=0.16SV019标准
200mmP/Boron725 +/-20{100}1 至 100<=7凹槽蚀刻<=50@>=0.08SV022标准
300mmP/Boron775 +/-10{100}6 至 12 <=0.9凹槽抛光<=50@>=0.045SV026标准
200mmP/Boron725 +/-25{100}1 至 100<=10凹槽蚀刻<=20@>=0.2SV024标准
300mmP/Boron775 +/-25{100}1 至 100<=10凹槽抛光<=100@>=0.2SV028标准
300mmP/Boron775 +/-25{100}0.01-0.02<=5凹槽抛光<=50@>=0.12SV029标准
150mmP/Boron675 +/-25{100}0.01 至 0.02<=51 平槽蚀刻<=20@>=0.2SV013标准
150mmN/Phos675 +/-25{100}10 至 20<=101 平槽蚀刻<=10@>=0.2SV012标准
125mmP/Boron625 +/-25{100}1 至 100<=51 平槽蚀刻<=20@>=0.2SV011标准
100mmP/Boron525 +/-25{100}10 至 20<=52 平槽蚀刻<=20@>=0.3SV010标准
150mmP/Boron675 +/-25{100}10 至 20<=5凹槽蚀刻<=20@>=0.2SV014标准
150mmP/Boron675 +/-25{100}10 至 20<=81 平槽蚀刻<=20@>=0.2SV015标准
200mmP/Boron725 +/-25{100}1 至 100<=5凹槽抛光<=30@>=0.2SV017标准
200mmN/Phos725 +/-20{100}6 至 24<=3凹槽蚀刻<=200@>=0.16SV020标准
200mmP/Boron725 +/-25{100}0.005-0.02<=10凹槽蚀刻<=20@>=0.2SV021标准
300mmP/Boron775 +/-25{100}20 至 40<=0.9凹槽抛光<=15@>=0.09SV025标准
300mmP/Boron775 +/-25{100}1 至 30<=3凹槽抛光<=50@>=0.065SV027标准

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