両面研磨ウェハー

Silicon Valley Microelectronicsの製品ラインには、片面研磨(SSP)ウェーハ基板と両面研磨(DSP)ウェーハ基板があります。両面研磨ウェーハは一般的に、半導体、微小電気機械システム(MEMS)、および平坦度特性が厳密に制御されたウェーハが必要とされるその他の用途で必要とされます。また、ダブルサイドパターニングやデバイス製造プロジェクトでも必要とされます。

半導体デバイスの微細化が進む一方で、ウェーハの表裏両面における高い表面品質がますます重要になってきている。現在、このようなウェーハは、MEMS、ウェーハボンディング、SOI(シリコン オン インシュレータ)製造、および厳しい平坦度が要求されるアプリケーションで最も一般的です。Silicon Valley Microelectronicsは、半導体業界の進化を認識し、すべてのお客様のご要望に長期的なソリューションを見出すことをお約束します。

SVM は、50 mm から 300 mm までのすべての直径の両面研磨ウエーハを大量に在庫しています。お客様の仕様が当社の在庫にない場合、当社は、独自の仕様に合わせてウエーハをカスタム製造できる多数の製造パートナーと長期的な関係を築いています。両面研磨ウエーハは、半導体業界で一般的に使用されているシリコン、ガラス、その他の材料で入手できます。

 

直径:100mm

直径:150mm

直径:200mm

シリコンウェハーシリコンウェハーシリコンウェハー
タイプ/ドーパント:NまたはPタイプ/ドーパント:NまたはPタイプ/ドーパント:NまたはP
オリエンテーション: <100>オリエンテーション: <100>オリエンテーション: <100>
抵抗率:0~100Ω・cm抵抗率:0~100Ω・cm抵抗率:0~100Ω・cm
厚さ:525±20μm厚さ:675±20μm厚さ:725±20μm
TTV: < 5μmTTV: < 3μmTTV: < 2μm
STIR:リクエストに応じて提供STIR: < 2μmSTIR: < 2μm
フラット:1または2/ SEMI規格ノッチ:SEMI規格ノッチ:SEMI規格
両面研磨両面研磨両面研磨

All factory sealed 300mm silicon wafers are double side polished. SVM offers site flatness measurements down to <0.05 μm or greater, site size 26mm x 8mm, 100% PUA.

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