SVMのウェハーレーザーマーキング能力：

  • 直径： 50mm ～ 300mm
  • 文字の高さと幅：ご要望に応じて
  • フォント：0.010～12
  • 深さ：ソフトおよびハードレーザーマークが利用可能
  • ソフトマーク：深さ1～5μm
  • ハードマーク：深さ5μm～100μm
  • マーク位置：ウェハーの表面または裏面
  • フォーマット：英数字およびバーコード
  • スペシャリティ・マーク：会社のロゴなど

レーザーマーキング工程で発生するゴミからウェーハ表面を保護するため、酸化膜、窒化膜、フォトレジストなどの犠牲保護層をご用意しております。SVMはマーキング後のウェハークリーニングオプションを提供しています。