SVM의 웨이퍼 레이저 마킹 기능:

  • 직경: 50mm ~ 300mm
  • 문자 높이 및 너비: 요청 시
  • 글꼴: 0.010~12
  • 깊이: 소프트 및 하드 레이저 마크 사용 가능
  • 소프트 마크: 1~5μm 깊이
  • 하드 마크: 5μm ~ 100μm 깊이
  • 마크 위치: 웨이퍼 전면 또는 후면
  • 형식: 영숫자 및 바코드
  • 특수 마크: 회사 로고 등

레이저 마킹 공정 중에 발생하는 이물질로부터 웨이퍼 표면을 보호하기 위해 산화물, 질화물 또는 포토레지스트와같은 희생 보호층을 사용할 수 있습니다. SVM은 마킹 후 웨이퍼 세척 옵션을 제공합니다.