SVM 的晶圆激光打标能力：

  • 直径： 50mm 至 300mm
  • 字符高度和宽度：根据要求
  • 字体：0.010 至 12
  • 深度：提供软激光标记和硬激光标记
  • 软标记：深度 1-5μm
  • 硬质标记：深度为5μm-100μm
  • 标记位置：晶圆正面或背面
  • 格式：字母数字和条形码
  • 特殊标记：公司徽标等。

氧化物、氮化物或光阻等人工保护层可用于保护晶圆表面免受激光打标过程中产生的碎屑的影响。SVM 提供打标后晶圆清洁选项。