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200mmP/Boron725 +/-25{100}1 至 100<=5凹槽抛光<=30@>=0.2SV017标准
200mmP/Boron725 +/-20{100}1 至 50<=5凹槽蚀刻<=50@>=0.12SV018标准
200mmP/Boron725 +/-25{100}5 至 30<=4凹槽蚀刻<=50@>=0.16SV019标准
200mmN/Phos725 +/-20{100}6 至 24<=3凹槽蚀刻<=200@>=0.16SV020标准
200mmP/Boron725 +/-25{100}0.005-0.02<=10凹槽蚀刻<=20@>=0.2SV021标准
200mmP/Boron725 +/-20{100}1 至 100<=7凹槽蚀刻<=50@>=0.08SV022标准
200mmP/Boron725 +/-25{100}1 至 100<=10凹槽蚀刻<=20@>=0.2SV024标准

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