실리콘 카바이드의 특성:
- 고온에서 우수한 선능.
- 낮은 열팽창. SiC는 최대 1600°C의 온도에서도 강도를 잃지 않고 견딜 수 있습니다.
- 부식, 침식 및 산화에 대한 높은 내성.
- 뛰어난 경도 특성; 다이아몬가 유일한 더 단단한 물질입니다.
- 빠른 전환 속도로 소형화 향상.
- 열 전도성이 뛰어남.
실리콘 카바이드 증착 공정:
실리콘 카바이드를 증착하는 방법에는 물리적 기상 증착(PVD)과 플라즈마 화학 기상 증착(PECVD)의 두 가지 주요 방법이 있습니다.
실리콘 카바이드 PVD는 고온 진공 또는 기체 플라즈마의 두 가지 방법 중 하나를 사용하여 분말 실리콘 카바이드를 증기로 전환할 때 수행됩니다. 모든 재료를 기화시킨 후 웨이퍼가 들어 있는 부분 또는 전체 진공 퍼니스로 이동합니다. 퍼니스에 들어가면 증기가 기판 표면에 침전되어 얇은 카보룬덤 층이 형성됩니다.
PECVD를 통해 SiC를 증착하기 위해 CVD 퍼니스는 웨이퍼를 플라즈마에 노출시켜 기판 표면의 화학 반응을 촉매합니다.