Métaux déposés

Métaux PVD, pulvérisés et évaporés

SVM a 30 ans d'expérience dans la fourniture de métaux PVD, pulvérisés et évaporés. Outre le traitement des plaquettes de silicium, nous proposons le traitement d'une variété de substrats, notamment l'alumine, la silice fondue, le nitrure d'aluminium, le carbure de silicium et d'autres matériaux. Nous proposons une large gamme d'épaisseurs de film avec une uniformité et une résistance-uniformité à la pointe de l'industrie. Vous trouverez ci-dessous une liste des films les plus courants que nous proposons. N'hésitez pas à nous contacter pour toute demande spécifique.

SVM Sputtered/Evaporated Metals (Métaux pulvérisés/évaporés) :

• Aluminium (Al)
• Aluminium/cuivre (AlCu) - 0,5 %, 1 %, 4 %.
• Aluminium/silicium (AlSi) - .1%, 1%, 2%
• Nitrure d'aluminium (réactif)
• Oxyde d'aluminium (Al2O3)
• Carbone (C)
• Chrome (Cr)
• Oxyde de chrome (Cr2O3) - Non réactif
• Chrome Silicium (CrSi)
• Cobalt (Co)
• Cuivre (Cu)
• Cuivre Nickel (CuNi) - 60/40
• Germanium (Ge)
• Or (Au)
• Halfnium (Hf)
• Oxyde d'indium et d'étain (ITO)
• Fer (Fe)
• Molybdène (Mo)
• Nickel (Ni)
• Niobium (Nb)
• Palladium (Pd)
• Platine (Pt)
• Ruthénium (Ru)
• Silicium - dopé et non dopé
• Carbure de silicium (SiC)
• Argent (Ag)
• Tantale (Ta)
• Nitrure de tantale (TaN)
• Étain (Sn)
• Titane (Ti)
• Oxyde de titane (TiO2)
• Nitrure de titane (TiN)
• Titanium Tungster (TiW)
• Tungstène (W)
• Nitrure de tungstène (WN)
• Tungstène Silicium (WSI)
• Zirconium (Zr)
• Oxyde de zirconium (ZrO2)

SVM Dépôt chimique en phase vapeur Films déposés par PECVD ou LPCVD :

CVD Metals :

• Cobalt (Co)
• Nitrure de cobalt (CoN)
• Titane (Ti)
• Nitrure de titane (TiN)
• Tungstène (W)
• Nitrure de tungstène (WN)
• Carbure de silicium (SiC)
• Nitrure de carbure de silicium (SiCN). SiCO)
• Nitrure de silicium (SiN)
• Oxy-nitrure de silicium (SiON)

SVM Dépôt de couches atomiques (ALD) Métaux :

• Oxyde d'aluminium (Al2O3)
• Oxyde de nickel (NiO)
• Nitrure de niobium (NbN)
• Oxyde de niobium (NiO2)
• Oxygène de niobium (Nb2O5)
• Carbure de silicium (SiC)
• Nitrure de carbure de silicium (SiCN)
• Carbure de silicium-oxygène (SICO)
• Nitrure de silicium (SiN)
• Oxy-nitrure de silicium (SiON)
• Tungstène (W)
• Nitrure de titane (TiN)
• Nitrure de nickel (NiN)

Métaux électrodéposés :

• Étain (Sn) ou alliages d'étain
• Cuivre (Cu)
• Nickel (Ni)
• Argent (Ag)
• Or (Au)
• Palladium (Pd)
• Platine (Pt)