증착된 금속

PVD, 스퍼터링 및 증발 금속

SVM은 30년 동안 PVD, 스퍼터링 및 증발 금속을 제공한 경험이 있습니다. 실리콘 웨이퍼 가공 외에도 알루미나, 용융 실리카, 질화 알루미늄, 실리콘 카바이드 및 기타 재료를 포함한 다양한 기판에 대한 가공을 제공합니다. 당사는 업계 최고의 균일성과 저항 균일성을 갖춘 다양한 필름 두께를 제공합니다. 아래는 당사가 제공하는 일반적인 필름 목록입니다. 구체적인 요청 사항이 있으면 문의해 주세요.

SVM 스퍼터링/증발 금속:

• 알루미늄(Al)
• 알루미늄/구리(AlCu) - .5%, 1%, 4%
• 알루미늄/실리콘(AlSi) - .1%, 1%, 2%
• 질화 알루미늄(반응성)
• 알루미늄 산화물(Al2O3)
• 탄소(C)
• 크롬(Cr)
• 산화 크롬(Cr2O3) - 비반응성
• 크롬 실리콘(CrSi)
• 코발트 (Co)
• 구리(Cu)
• 구리 니켈(CuNi) - 60/40
• 게르마늄(Ge)
• 금(Au)
• 하프늄(Hf)
• 인듐주석산화물(ITO)
• 철(Fe)
• 몰리브덴(Mo)
• 니켈(Ni)
• 니오븀(Nb)
• 팔라듐(Pd)
• 플래티넘(Pt)
• 루테늄(Ru)
• 실리콘 - 도핑 & 비도핑
• 실리콘 카바이드(SiC)
• 은(Ag)
• 탄탈륨(Ta)
• 질화탄탈륨(TaN)
• 주석(Sn)
• 티타늄(Ti)
• 산화티타늄(TiO2)
• 질화 티타늄(TiN)
• 티타늄 퉁스터(TiW)
• 텅스텐(W)
• 질화 텅스텐(WN)
• 텅스텐 실리콘(WSI)
• 지르코늄(Zr)
• 산화 지르코늄(ZrO2)

PECVD 또는 LPCVD 공정으로 증착된 SVM 화학 기상 증착 필름:

CVD 금속:

• 코발트 (Co)
• 질화 코발트(CoN)
• 티타늄(Ti)
• 질화 티타늄(TiN)
• 텅스텐(W)
• 질화 텅스텐(WN)
• 실리콘 카바이드(SiC)
• 실리콘 카바이드 질화물(SiCN.) SiCO)
• 질화규소(SiN)
• 실리콘 옥시-질화물(SiON)

SVM 원자층 증착(ALD) 금속:

• 알루미늄 산화물(Al2O3)
• 니켈 산화물(NiO)
• 질화 니오븀(NbN)
• 산화 니오븀(NiO2)
• 니오븀 산소(Nb2O5)
• 실리콘 카바이드(SiC)
• 실리콘 카바이드 질화물(SiCN)
• 실리콘 카바이드-산소(SICO)
• 질화규소(SiN)
• 실리콘 옥시-질화물(SiON)
• 텅스텐(W)
• 질화 티타늄(TiN)
• 질화 니켈(NiN)

전기 도금 금속:

• 주석(Sn) 또는 주석 합금
• 구리(Cu)
• 니켈(Ni)
• 은(Ag)
• 금(Au)
• 팔라듐(Pd)
• 플래티넘(Pt)