PVD, 스퍼터&증발된 금속
SVM은 30년간 PVD, 스퍼터&증발된(evaporated) 금속을 제공해왔습니다. 실리콘 웨이퍼 가공 외에도 알루미나, 퓨즈 실리카, 알루미늄 니트라이드, 실리콘 카바이드 등 다양한 기판에 대한 가공을 제공합니다. 업계 최고의 균일성과 저항 균일성으로 다양한 필름 두께를 제공합니다. 아래는 저희가 제공하는 일반적인 필름 목록입니다. 만약 구체적인 요청 사항이 있으시면 연락해주십시오.
SVM 스퍼터/증발된 금속:
- Aluminum (Al)
- Aluminum/Copper (AlCu) – .5%, 1%, 4%
- Aluminum/Silicon (AlSi) – .1%, 1%, 2%
- Aluminum Nitride (reactive)
- Aluminum Oxide (Al2O3)
- Carbon (C)
- Chromium (Cr)
- Chromium Oxide (Cr2O3) – Non-Reactive
- Chromium Silicon (CrSi)
- Cobalt (Co)
- Copper (Cu)
- Copper Nickel (CuNi) – 60/40
- Germanium (Ge)
- Gold (Au)
- Halfnium (Hf)
- Indium Tin Oxide (ITO)
- Iron (Fe)
- Molybdenum (Mo)
- Nickel (Ni)
- Niobium (Nb)
- Palladium (Pd)
- Platinum (Pt)
- Ruthenium (Ru)
- Silicon – doped & undoped
- Silicon Carbide (SiC)
- Silver (Ag)
- Tantalum (Ta)
- Tantalum Nitride (TaN)
- Tin (Sn)
- Titanium (Ti)
- Titanium Oxide (TiO2)
- Titanium Nitride (TiN)
- Titanium Tungster (TiW)
- Tungsten (W)
- Tungsten Nitride (WN)
- Tungsten Silicon (WSI)
- Zirconium (Zr)
- Zirconium Oxide (ZrO2)
SVM 화학 기상 증착 필름(PECVD/LPCVD 증착):
CVD 금속:
- Cobalt (Co)
- Cobalt Nitride (CoN)
- Titanium (Ti)
- Titanium Nitride (TiN)
- Tungsten (W)
- Tungsten Nitride (WN)
- Silicon Carbide (SiC)
- Silicon Carbide Nitride (SiCN). SiCO)
- Silicon Nitride (SiN)
- Silicon Oxy-Nitride (SiON)
SVM 원자층 증착(ALD) 금속:
- Aluminum Oxide (Al2O3)
- Nickel Oxide (NiO)
- Niobium Nitride (NbN)
- Niobium Oxide (NiO2)
- Niobium Oxygen (Nb2O5)
- Silicon Carbide (SiC)
- Silicon Carbide Nitride (SiCN)
- Silicon Carbide-Oxygen (SICO)
- Silicon Nitride (SiN)
- Silicon Oxy-Nitride (SiON)
- Tungsten (W)
- Titanium Nitride (TiN)
- Nickle Nitride (NiN)
전기도금 금속:
- Tin (Sn) or Tin alloys
- Copper (Cu)
- Nickel (Ni)
- Silver (Ag)
- Gold (Au)
- Palladium (Pd)
- Platinum (Pt)

베이 지역 어디든 4시간 이내

미국에서 1일 이내

해외에서 3일 이내