低抵抗ウェハー

低抵抗（高ドープ）ウェハー

低抵抗ウェハーとは、高濃度にドーピングされたウェハーのことです。電流の流れに対する抵抗が低く、導電性が高いため使用される。これらのウェーハは、プラス（P型）またはマイナス（N型）に帯電させることができます。P型ウェーハはボロンがドープされ、ウェーハ内に電流を流すプラスに帯電した原子を持ちます。N型ウェハはマイナスに帯電しており、ウェハを通して電気を運ぶために電子を使用します。これらのウェハーには、リン、ヒ素、アンチモンがドープされ、負の電荷を得ることができます。

ほとんどのウェーハは製造工程でドープされ、あし。また、イントリンシック・ウェーハのように、製造後にドーパントを導入するものもあります。ウェハーの加工後にドーパントを添加する方法には、空隙拡散、内部格子拡散、場所変更といういくつかの手法があり、これら3つの方法はすべて、ターゲット分子をウェハーに拡散させるものです。ウェハにドーパントを導入する一般的な方法には、空隙拡散、内部格子拡散、場所変更の3つがあります。