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300mmP/Boron775 +/-25{100}20 至 40<=0.9凹槽抛光<=15@>=0.09SV025标准
300mmP/Boron775 +/-10{100}6 至 12 <=0.9凹槽抛光<=50@>=0.045SV026标准
300mmP/Boron775 +/-25{100}1 至 30<=3凹槽抛光<=50@>=0.065SV027标准
300mmP/Boron775 +/-25{100}1 至 100<=10凹槽抛光<=100@>=0.2SV028标准
300mmP/Boron775 +/-25{100}0.015-0.02<=5凹槽抛光<=50@>=0.12SV029标准
300mmP/Boron775 +/-25{100}1 至 100<=10凹槽抛光<=100@>=0.2SV030标准

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