超扁平晶圆

超扁平晶圆

SVM可供应各种高质量的超平晶圆，以满足每位客户的精确平面度控制要求。

可提供的晶圆直径50mm至300mm
提供平面度测量：SFPD、SFQR、STIR、TTV、TIR、GTIR 等。

SVM 样品超扁平晶圆规格：

• 直径：300mm
• 场地平整度：SFQR
• Site flatness specification: < 0.05μm, < 0.11μm, < 0.13μm, < 0.25μm
• 可用面积百分比 (PUA)：100% 场地
• 网站尺寸：26 x 8 mm

SVM 库存有超平硅晶圆。