증착된 금속

PVD, 스퍼터&증발된 금속

SVM은 30년간 PVD, 스퍼터&증발된(evaporated) 금속을 제공해왔습니다. 실리콘 웨이퍼 가공 외에도 알루미나, 퓨즈 실리카, 알루미늄 니트라이드, 실리콘 카바이드 등 다양한 기판에 대한 가공을 제공합니다. 업계 최고의 균일성과 저항 균일성으로 다양한 필름 두께를 제공합니다. 아래는 저희가 제공하는 일반적인 필름 목록입니다. 만약 구체적인 요청 사항이 있으시면 연락해주십시오.

SVM 스퍼터/증발된 금속:

• Aluminum (Al)
• Aluminum/Copper (AlCu) – .5%, 1%, 4%
• Aluminum/Silicon (AlSi) – .1%, 1%, 2%
• Aluminum Nitride (reactive)
• Aluminum Oxide (Al2O3)
• Carbon (C)
• Chromium (Cr)
• Chromium Oxide (Cr2O3) – Non-Reactive
• Chromium Silicon (CrSi)
• Cobalt (Co)
• Copper (Cu)
• Copper Nickel (CuNi) – 60/40
• Germanium (Ge)
• Gold (Au)
• Halfnium (Hf)
• Indium Tin Oxide (ITO)
• Iron (Fe)
• Molybdenum (Mo)
• Nickel (Ni)
• Niobium (Nb)
• Palladium (Pd)
• Platinum (Pt)
• Ruthenium (Ru)
• Silicon – doped & undoped
• Silicon Carbide (SiC)
• Silver (Ag)
• Tantalum (Ta)
• Tantalum Nitride (TaN)
• Tin (Sn)
• Titanium (Ti)
• Titanium Oxide (TiO2)
• Titanium Nitride (TiN)
• Titanium Tungster (TiW)
• Tungsten (W)
• Tungsten Nitride (WN)
• Tungsten Silicon (WSI)
• Zirconium (Zr)
• Zirconium Oxide (ZrO2)

SVM 화학 기상 증착 필름(PECVD/LPCVD 증착):

CVD 금속:

• Cobalt (Co)
• Cobalt Nitride (CoN)
• Titanium (Ti)
• Titanium Nitride (TiN)
• Tungsten (W)
• Tungsten Nitride (WN)
• Silicon Carbide (SiC)
• Silicon Carbide Nitride (SiCN). SiCO)
• Silicon Nitride (SiN)
• Silicon Oxy-Nitride (SiON)

SVM 원자층 증착(ALD) 금속:

• Aluminum Oxide (Al2O3)
• Nickel Oxide (NiO)
• Niobium Nitride (NbN)
• Niobium Oxide (NiO2)
• Niobium Oxygen (Nb2O5)
• Silicon Carbide (SiC)
• Silicon Carbide Nitride (SiCN)
• Silicon Carbide-Oxygen (SICO)
• Silicon Nitride (SiN)
• Silicon Oxy-Nitride (SiON)
• Tungsten (W)
• Titanium Nitride (TiN)
• Nickle Nitride (NiN)

전기도금 금속:

• Tin (Sn) or Tin alloys
• Copper (Cu)
• Nickel (Ni)
• Silver (Ag)
• Gold (Au)
• Palladium (Pd)
• Platinum (Pt)