超平晶圆

超平晶圆

SVM可以供应各种高质量的超平晶圆，以满足每个客户对晶圆表面平整度的精确控制要求。

可供应晶圆的直径范围： 50mm-300mm
平整度测量标准： SFPD，SFQR，STIR， TTV，TIR， GTIR 等

SVM超平晶圆样品规格：

• 直径： 300mm
• 表面平整度标准: SFQR
• 表面平整度规格： < 0.05μm, < 0.11μm, < 0.13μm, < 0.25μm
• 百分可用区域： 100%
• 表面尺寸： 26 x 8 mm

SVM拥有足够的超平晶圆库存产品。