SVM的晶圆激光打标能力：

  • 直径：50mm至300mm
  • 字符高度和宽度：根据要求
  • 字体大小：0.010到12
  • 深度：可提供软激光和硬激光进行打标
  • 柔性标记：深度为1至5μm
  • 硬性标记：深度为5μm至100μm
  • 标记位置：晶圆的正面或背面
  • 格式：字母数字和条形码
  • 特殊标记：公司标志等

牺牲性保护层（如氧化物膜、氮化物膜或光刻胶）可用于保护晶圆表面免受激光打标过程中产生的碎屑的影响。SVM提供打标后的晶圆清洁服务。