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300mmP/Boron775 +/-10{100}6 to 12<=0.9NotchPolished<[email protected]>=0.045SV026Standard
300mmP/Boron775 +/-25{100}1 to 30<=3NotchPolished<[email protected]>=0.065SV027Standard
300mmP/Boron775 +/-25{100}1 to 100<=10NotchPolished<[email protected]>=0.2SV028Standard
300mmP/Boron775 +/-25{100}0.015-0.02<=5NotchPolished<[email protected]>=0.12SV029Standard
300mmP/Boron775 +/-25{100}1 to 100<=10NotchPolished<[email protected]>=0.2SV030Standard

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